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AES/XPS를 이용한 Au/V, Au/Ti 박막의 표면산화물 분석
Kim, Jin -Young

Au/V, Au/Ti의 이중구조 박막을 대기 중에서 $500^{\circ}C$에서 열처리한 후 Auger electron spectroscopy(AES)와 X-ray photoelectron spectroscepy(XPS)를 이용하여 분석 하였다. 열처리 과정에서 Au와 SiO2 기판 사이의 V-와 Ti- 하층박막은 Au 표면 위에 산화 물을 형성하였다. 산화물의 화학조성은 Au/V, Au/Ti 박막에서 V2O5와 TiO2로 각각 판명되었다.

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