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216.73.216.191
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KCI 등재
인접 Pd-MILC가 Ni-MILC에 미치는 영향
Effect of Adjacent Pd on Ni-MILC
김영수, 김민선, 오현욱, 최성희, 주승기
DOI http://dx.doi.org/10.4191/KCERS.2004.41.8.578

본 연구에서는 Palladium-Metal Induced Lateral Crystallization(Pd-MILC)과 Nickel-Metal Induced Lateral Crystallization (Ni-MILC)을 동시에 사용하여 Ni-MILC의 결정화 속도를 향상시키는 방법을 제안하였다 이 방법을 사용하여 기존의 Ni-MILC 보다 거의 4배나 빠른 결정화 속도인 15 $\mu$m/h를 얻을 수 있었다. Ni과 Pd의 간격이 좁을수록 Ni-MILC의 결정화 속도가 더 빨라졌으며 Pd두께, Ni두께에, 비정질 실리콘 너비와는 큰 의존관계가 없었다. 하지만 Pd이 Ni에 의해 덮혀져 Pd-MILC가 일어나지 못하는 경우에는 이러한 현상이 발견되지 않았다. 이는 Pd물질 그 자체가 Ni-MILC를 향상시키는 것이 아니라 Pd MILC가 진행되면서 발생하는 tensile stress에 의해 향상되는 것임을 의미한다. 이와 같은 현상들을 새로운 MILC mechanism으로 설명하였다.

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