R.F. Magnetron Sputtering을 이용한 리튬이차전지 부극용 Sn1-xSixO2의 제조 및 특성 - 한국세라믹학회지 - 한국세라믹학회

한국세라믹학회 한국세라믹학회지 R.F. Magnetron Sputtering을 이용한 리튬이차전지 부극용 Sn_1-xSi_xO₂의 제조 및 특성

KCI 등재

R.F. Magnetron Sputtering을 이용한 리튬이차전지 부극용 Sn_1-xSi_xO₂의 제조 및 특성

Fabrication and Characterization of Sn1-xSixO2 Anode for Lithium Secondary Battery by R.F. Magnetron Sputtering Method

이상헌, 박건태, 손영국

한국세라믹학회2002

한국세라믹학회지 39권 4호 394-400(7pages)

DOI http://dx.doi.org/10.4191/KCERS.2002.39.4.394

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초록

리튬 이차전지용 부극재료로 미량의 실리콘이 첨가된 주석산화물 박막을 R.F. magnetron sputtering법을 이용하여 제조하였다. 실리콘의 첨가로 인해 주석의 산화상태를 감소시켜서 첫 번째 충방전 동안 비가역성을 감소시키는 전기 화학적 결과를 얻을 수 있었다. 주석 산화물 박막의 결정 배향성은 기판온도가 올라감에 따라서 (110),(101),(211) 면들이 성장하였다. 합성된 박막은 기판온도가 $300^{\circ}C$이고 $Ar:O_2$의 비가 7:3일때, 700mAh/g의 에너지 밀도를 가지며 가장 좋은 가역성능을 보여주었다.

키워드

Sn $_{1-x}Si_xO_2$ . R.F. magnetron sputtering . Lithium secondary battery

참고문헌 (0)