ALD를 활용한 단일 박막 비휘발성 메모리 소자의 제작 및 특성 분석

Fabrication and Characterization of Single-Layer Non- Volatile Memory Devices Using Atomic Layer Deposition (ALD)

임형완 ( Hyoung-wan Lim ) , 신동민 ( Dong-min Shin ) , 박준수 ( Jun-su Park ) , 홍형근 ( Hyeong-keun Hong ) , 전재욱 ( Jae-wook Jeon )

한국정보처리학회 2024.05

한국정보처리학회 학술대회논문집 vol. 31 iss. 1 25-26(2pages)

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