페깅은 반도체 웨이퍼 제조 시스템에서 로트를 주문에 할당하는 것을 의미한다. 본 논문에서는 시스템의 주문 로트 할당 문제, 즉, 주문-로트 페깅 문제에 대해 연구하였다. 현재 운영되고 있는 반도체 제조 시스템에서는 하드페깅 정책과 소프트페깅 정책, 두가지를 운영하고 있다. 하드페깅 정책에서는 로트가 반도체 FAB에 투입되기 전에 주문에 할당되어 투입되고, 로트-주문 간 할당은 로트가 완성되어 고객에게 전달될 때까지 변경되지 않는다. 소프트페깅 정책에서는 로트가 생산 공정을 진행하는 동안 일정한 조건하에서 기존에 할당됐던 주문과 연결을 끊고, 다른 주문에 할당될 수 있다. 본 연구에서는 납기 기반 지표인 총 지연도와 지연 주문 수를 최소화하기 위해 소프트페깅 정책 하에서 휴리스틱 기반의 페깅 알고리즘을 제안한다. 제안된 알고리즘의 성능을 평가하기 위해 실제 제조 시스템을 고려하는 무작위로 생성된 문제를 사용하여 시뮬레이션 실험을 테스트하였고, 본 연구에서 제안한 휴리스틱 알고리즘들이 하드페깅 정책 하의 페깅 알고리즘보다 납기 관점의 지표에서 더 좋은 결과를 보였다. 이 결과를 바탕으로, 본 연구에서 제안한 페깅 알고리즘을 실제 적용하기 위한 고려사항들도 심도 깊게 고찰하였다.

Pegging is a process of assigning lots to orders in a semiconductor wafer fabrication manufacturing system. In this paper, we studied on an order-lot assignment problem or a pegging problem in the system. In semiconductor manufacturing systems, there are two types of pegging policy; hard pegging policy and soft pegging policy. Both pegging policies, lots are assigned to orders first. Next, lots-order assignment in the hard pegging policy is maintained and never changed, but it can be modified during lots are being processed in the soft pegging policy. We suggest new pegging algorithms for the soft pegging policy to minimize the number of tardy orders. To evaluate performance of suggested algorithms, we test simulation experiments using randomly generated problems which consider real manufacturing system. We can find our algorithms for the soft pegging policy show better performance than an existing algorithm as well as those for the hard pegging policy.