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한국화학공학회
NICE (News & Information for Chemical Engineers)
박막 원자층 공정의 원리적 이해와 설계
박막 원자층 공정의 원리적 이해와 설계
( Tran Thi Ngoc Van ) , 김미소 , 오홍준 , 유능경 , 송봉근
한국화학공학회
2021.02
NICE (News & Information for Chemical Engineers)
39권 1호
4-10(7pages)
UCI
I410-ECN-0102-2022-500-000376808
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