닫기
216.73.216.112
216.73.216.112
close menu
불용 인듐주석산화물(Indium-Tin-Oxide, ITO) 타겟으로부터 ITO 나노분말 재합성 및 응용
Re-synthesis of ITO Nanoparticles from Discarded ITO Target and its applications
차승재 , 홍성제
UCI I410-ECN-0102-2021-500-001041202
이 자료는 4페이지 이하의 자료입니다.
* 발행 기관의 요청으로 무료로 이용 가능한 자료입니다.

최근 플렉서블 기기에 대한 관심이 높아지고 이를 구현할 수 있는 기판 및 그 위에 구현하는 투명전극 막에 대한 관심도 함께 높아지고 있다.[1] 투명전극 막을 형성하는 핵심 소재로 ITO와 IZO가 거론되고 있는데, 기존의 ITO와 IZO 등의 산화물 투명전극막은 스퍼터링(sputtering)이나 전자빔 증착(E-beam evaporation) 등의 방법으로 제작해 왔다. 이러한 방법을 사용하기 위해서는 진공 상태에서 박막을 형성해야 하기 때문에 상당한 고가의 장비가 필요하게 되어 원가의 상승으로 이어진다. 본 연구에서는 이러한 문제들을 해결하기 위해 불용 인듐산화물(Indium-Tin-Oxide, ITO) 타겟으로부터 ITO를 회수하였고, 이를 산 용매에 용해 후 환원제를 투입하여 InSnOH 전구체를 석출, 열처리하여 ITO 나노 분말을 재생하였다. 그 결과 20g의 불용 ITO로부터 18.7g의 ITO 나노 분말을 재생, 93.5%의 재생율을 얻을 수 있었다. 이렇게 재생된 ITO 나노 분말은 상용 ITO 분말과 유사한 색을 나타내었고, 성분을 분석한 결과, 상용 ITO 분말과 비교하여 0.9%의 편차를 나타내어 조성비가 유사함을 알 수 있었다. 또한, BET 비표면적을 환산한 평균 입도는 9.5 nm로 10 nm 이하의 양호한 결과를 나타내었다. 이렇게 얻어진 재생 ITO 나노분말을 이용하여 투명전극 회로에 응용하였고, 그 결과 투명전극으로서의 가능성을 확인하였다.

[자료제공 : 네이버학술정보]
×