반도체, 전자산업에서 일반적으로 PFCs 및 NF₃를 처리하기 위한 연소기술 적용 장치를 스크러버로 통칭하며, 전단부에서 Air burner 또는 순산소 버너를 이용하여 PFCs 및 NF₃를 분해하고, 후단부로 이송되면서 온도를 낮추며, 최종적으로 Wet scrubber를 이용하여 연소부산물을 제거한다. 최근까지도 고온/유해가스 고부식성 환경에서 내화학적 안정성이 확보된 소재의 개발 부재로 연소분해장치 및 배관라인의 내구성이 현저히 떨어짐에 따라 유지보수 비용의 증가로 인해 수익성 악화로 이어지기 때문에 경제성 제고 및 처리효율을 증대하기 위한 고내구성 부품에 대한 수요가 증가하고 있다. 본 연구에서는 저환경부하 스크러버용 연소분해 모듈의 경제성과 유지관리 효율성 증대를 위한 고온 내열화학성 코팅소재 및 공정을 개발하고자 하였다. 기존 모듈 소재의 내부를 니켈 기반 합금으로 효과적으로 코팅하여 그 적용성을 평가하였다.