HBr/Ar 플라즈마를 이용한 ZnO 박막에 대한 식각 특성 - 한국공업화학회 연구논문 초록집 - 한국공업화학회 - KISS

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한국공업화학회 한국공업화학회 연구논문 초록집 HBr/Ar 플라즈마를 이용한 ZnO 박막에 대한 식각 특성

HBr/Ar 플라즈마를 이용한 ZnO 박막에 대한 식각 특성

민수련 , 정지원 , 이장우 , 조한나

한국공업화학회 2006.05

한국공업화학회 연구논문 초록집 2006권 186-186(1pages)

UCI I410-ECN-0102-2021-500-001164248

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