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한국공업화학회 한국공업화학회 연구논문 초록집 열플라즈마의 유량 및 시료와의 거리가 Getter 나노입자 제조에 미치는 영향
열플라즈마의 유량 및 시료와의 거리가 Getter 나노입자 제조에 미치는 영향
조태진 , 정민희 , 김헌창
한국공업화학회 2006.05
한국공업화학회 연구논문 초록집 2006권 136-136(1pages)
UCI I410-ECN-0102-2021-500-001172813
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