노즐 형태의 HCRT MOCVD에 의한 티타늄 산화막 증착 - 한국공업화학회 연구논문 초록집 - 한국공업화학회 - KISS

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한국공업화학회 한국공업화학회 연구논문 초록집 노즐 형태의 HCRT MOCVD에 의한 티타늄 산화막 증착

노즐 형태의 HCRT MOCVD에 의한 티타늄 산화막 증착

김경수 , 정일현

한국공업화학회 2005.10

한국공업화학회 연구논문 초록집 2005권 1호 110-110(1pages)

UCI I410-ECN-0102-2021-500-001175945

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