탄화규소는 그 표면에 형성되는 산화규소막 때문에 고온에 견디는 우수한 내열 내산화성 재료이다. 1800 ℃ 이상의 초고온에서는 산화규소막도 적극적 산화가 일어나며 일산화규소 형태로 증발하므로 보호할 수 있는 코팅막이 부가적으로 필요하다. 본 연구에서는 보호막으로 높은 융점을 가지는 산화이트륨 코팅막을 스프레이 코팅법을 이용하여 제조하였다. 스프레이 코팅과 소결 공정을 통하여 100 마이크론 두께의 견고한 코팅막을 제조할 수 있었으며, 가압 처리할 경우 매우 치밀한 코팅막을 제작할 수 있었다.
Silicon carbide is an excellent heat resistant and high oxidation resistant material at high temperature due to silicon oxide film formed on its surface. However silicon oxide film is degraded by active oxidation and vaporized to silicon monoxide at high temperature over 1800℃. Thus, additional coating film is required for protecting silicon oxide film. In this study, yttrium oxide coating film having high melting point was prepared to overcome this problem. Films were prepared by spray coating method or brush method. The microstructure and chemical composition were examined before and after the test with scanning electron microscopy and electron probe microanalysis.