발표91 : Al2O3 단층박막 및 Al2O3/Ti1-xAlxN 다층 박막의 제조 및 특성에 관한 연구

A study on the properties of the Al2O3 and the Al2O3/Ti1-xAlxN coatings deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition

손경석,이승훈,임주완,이정중

대한금속재료학회 1999.01

대한금속재료학회 학술대회 개요집 vol. 1999 iss. 1 106-106(1pages)

UCI I410-ECN-0102-2009-580-009424572

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