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대한금속재료학회 대한금속재료학회 학술대회 개요집 특강2 : 촉매계면활성제를 이용한 구리의 화학증기증착
특강2 : 촉매계면활성제를 이용한 구리의 화학증기증착
Chemical vapor deposition of copper using a catalytic surfactant
황의성,이지화
대한금속재료학회 1999.01
대한금속재료학회 학술대회 개요집 vol. 1999 iss. 1 46-46(1pages)
UCI I410-ECN-0102-2009-580-009425746
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