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대한금속재료학회 대한금속재료학회 학술대회 개요집 상변태4 : 열처리 조건에 따른 ferroelectric 박막용 하부전극의 미세구조 변화
상변태4 : 열처리 조건에 따른 ferroelectric 박막용 하부전극의 미세구조 변화
Microstructure change in the bottom electrode of the ferroelectric films during annealing in various ambients
강운병,이태곤,김동찬,김영호
대한금속재료학회 1999.01
대한금속재료학회 학술대회 개요집 vol. 1999 iss. 1 44-44(1pages)
UCI I410-ECN-0102-2009-580-009425786
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