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한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 추계학술대회논문집 POSTER 발표B : 전기분해 이온수를 이용한 세정기술 개발
POSTER 발표B : 전기분해 이온수를 이용한 세정기술 개발
Development of new cleaning technology using ionized water by electrolysis
변문기(M . G . Byun),백희원(H . W . Back),조봉희(B . H . Cho),김영호(Y . H . Kim)
한국전기전자재료학회 1999.01
한국전기전자재료학회 추계학술대회논문집 vol. 1999 617-620(4pages)
UCI I410-ECN-0102-2009-560-007523070
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