센서 박막재료 ( ORAL 발표 F ) : In-situ 스터퍼링을 이용한 마이크로 박막 전지의 제작 및 전지 특성 평가

Fabrication and Electrochemical Characterization of All Solid State Thin Film Micro-Battery by in-situ sputtering

전은정(Eun Jeong Jeon),신영화(Young Wha Shin),남상철(Sang Cheol Nam),조원일(Won Il Cho),손봉희(Bong Hee Son),윤영수(Young Soo Yoon)

한국전기전자재료학회 1999.01

한국전기전자재료학회 추계학술대회논문집 vol. 1999 159-162(4pages)

UCI I410-ECN-0102-2009-560-007522088

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