센서 박막재료 ( ORAL 발표 F ) : RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 ZnO 박막 SAW 필터에 관한 연구

A Study on the ZnO Thin Film SAW filter by RF Sputter

박용욱(Yong Wook Park),이동윤(Dong Yoon Lee),백동수(Dong Soo Paik),윤석진(Seok Jin Yoon),김현재(Hyun Jai Kim),박창엽(Chang Yub Park)

한국전기전자재료학회 1999.01

한국전기전자재료학회 추계학술대회논문집 vol. 1999 151-154(4pages)

UCI I410-ECN-0102-2009-560-007522068

More

Cite Copy URL Bookshelf

This article is 4 pages or less.

Abstract

Keywords

Table of Contents

References (0)

[자료제공 : 네이버학술정보]