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한국센서학회 센서학회지 다결정 실리콘 카바이드를 이용한 마이크로 유량센서
KCI 등재
다결정 실리콘 카바이드를 이용한 마이크로 유량센서
Micro flow sensor using polycrystalline silicon carbide
이지공 ( Ji Gong Lee ) , 이성필 ( Sung Pil Lee ) , ( Man I Lei ) , ( Srihari Rajgopal ) , ( Mehran Mehregany )
한국센서학회 2009.03
센서학회지 18권 2호 147-153(7pages)
UCI I410-ECN-0102-2009-530-020036449
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