Post-CMP Cleaning에서 PVA 브러시 오염이 세정 효율에 미치는 영향

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Effect of PVA Brush Contamination on Post-CMP Cleaning Performance

조한철 ( Han Chul Cho ) , 유민종 ( Min Jong Yuh ) , 김석주 ( Suk Joo Kim ) , 정해도 ( Hae Do Jeong )

한국전기전자재료학회 2009.02

전기전자재료학회논문지(J. Korean Inst. Electr. Electron. Mater. Eng.) vol. 22 iss. 2 114-118(5pages)

UCI I410-ECN-0102-2009-560-019988956

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