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고려대학교 공학기술연구소
工學 論文集
건식에칭프로파일 시뮬레이션과 그 적용
건식에칭프로파일 시뮬레이션과 그 적용
A Simulation for Dry Etching Pattern Profile
성영권(Yong Kwon Sung),주유진(Yu Jin Joo),김종관(Jong Kwan Kim)
고려대학교 공학기술연구소
1987.01
工學 論文集
vol. 23
55-61(7pages)
UCI
I410-ECN-0102-2008-530-001263659
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