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고려대학교 공학기술연구소
공학논문집
전기공학 ; 레이저 CVD SiO2 막 퇴적 기구의 정량적 해석
전기공학 ; 레이저 CVD SiO2 막 퇴적 기구의 정량적 해석
Electrical Quantitative analysis of deposition mechanism of Laser CVD SiO2
성영권(Yung Kwon Sung),이상훈(Sang Hoon Lee),김태훈(Tae Hoon Kim),장병호(Byung Ho Chang),김인수(In Soo Kim)
고려대학교 공학기술연구소
1997.01
공학논문집
vol. 35
1-6(6pages)
UCI
I410-ECN-0102-2008-530-001265193
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₩ 4,500
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