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단국대학교 신소재기술연구소
신소재 연구논집
급속 열처리 방식에 의한 Ti-실리사이드의 상전이 및 형성에 관한 연구
급속 열처리 방식에 의한 Ti-실리사이드의 상전이 및 형성에 관한 연구
A study on the phase transition and formation of Ti-silicide by rapid thermal annealing
엄우용(Woo Yong Ohm),김민영(Min Young Kim),장호정(Ho Jung Chang),장지근(Gee Kun Chang)
단국대학교 신소재기술연구소
1995.12
신소재 연구논집
vol. 5
59-67(9pages)
UCI
I410-ECN-0102-2008-530-001266221
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₩ 4,500
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