일렉트렛 응용기술 ( ORAL 발표 H ) : SiH4+Ar 혼합기체의 전자군 파라미터에 대한 볼츠만 방정식 및 몬테칼로법 해석

A Monte-Carlo method and Boltzmann Equation analysis on the electron swarrn parameter in SiH4+Ar mixtures gas

김대연(Dae Yeun Kim),하성철(Sung Chul Ha)

한국전기전자재료학회 1999.01

한국전기전자재료학회 춘계학술대회논문집 vol. 1999 387-390(4pages)

UCI I410-ECN-0102-2008-560-001243897

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