전자 Ceramics ( ORAL 발표 E ) : 고집적 DRAM 소자용 14/50/50 PLZT 박막의 특성에 관한 연구

A Study on Characteristic of the 14/50/50 PLZT Thin Film for DRAM Capacitor

박용범(Yong Bum Park),장낙원(Nak Won Jang),백동수(Dong Soo Paik),마석범(Suk Bum Mah),최형욱(Hyung Wook Choi),박창엽(Chang Yub Park)

한국전기전자재료학회 1999.01

한국전기전자재료학회 춘계학술대회논문집 vol. 1999 118-121(4pages)

UCI I410-ECN-0102-2008-560-001244354

More

Cite Copy URL Bookshelf

This article is 4 pages or less.

Abstract

Keywords

Table of Contents

References (0)

[자료제공 : 네이버학술정보]