전계 방출 소자용 실리콘 팁에 대한 금속 박막(Ti, Nb) 코팅 및 실리사이드화 - 전기전자재료학회논문지 - 한국전기전자재료학회 - KISS

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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전계 방출 소자용 실리콘 팁에 대한 금속 박막(Ti, Nb) 코팅 및 실리사이드화

Candidate

전계 방출 소자용 실리콘 팁에 대한 금속 박막(Ti, Nb) 코팅 및 실리사이드화

Metal(Ti, Nb) Coating and Silicidization of Si-tip for Field Emitter Applications

주병권 , 박재석 , 윤재형 , 김경욱 , 강문식 , 백경갑 , 장진 , 차균현 , 오명환

한국전기전자재료학회 1999.04

전기전자재료학회논문지 vol. 12 iss. 4 291-297(7pages)

UCI I410-ECN-0102-2009-560-002468210

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Abstract

Keywords

Ti and Nb coating

티타늄 및 니오비움 코팅

실리사이드화

field emission performance

전계 방출 성능

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[자료제공 : 네이버학술정보]

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