방전,플라즈마 (3) : 유도결합형 플라즈마에서 압력에 따른 Ar Gas의 전기적 특성분석

Analysis of Electrical Properties of Ar Gas According to Input Pressure for Inductively Coupled Plasma

조주웅 ( Jo Ju Ung ) , 이영환 ( Lee Yeong Hwan ) , 허인성 ( Heo In Seong ) , 김광수 ( Kim Gwang Su ) , 최용성 ( Choe Yong Seong ) , 박대희 ( Park Dae Hui )

한국전기전자재료학회 2003.07

한국전기전자재료학회 하계학술대회 논문집 vol. 2003 iss. 1 1176-1179(4pages)

UCI I410-ECN-0102-2009-560-002469560

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