방전,플라즈마 (1) : Ar 가스압력과 RF 전력변화 (13.56MHz)에 따른 유도결합형 플라즈마 E-H 모드 변환의 광학적 특성

Optical Properties of Inductively Coupled Plasma with Ar Gas Pressure and RF Power (13.56MHz)

허인성 ( Heo In Seong ) , 조주웅 ( Jo Ju Ung ) , 이영환 ( Lee Yeong Hwan ) , 김광수 ( Kim Gwang Su ) , 최용성 ( Choe Yong Seong ) , 박대희 ( Park Dae Hui )

한국전기전자재료학회 2003.07

한국전기전자재료학회 하계학술대회 논문집 vol. 2003 iss. 1 1123-1126(4pages)

UCI I410-ECN-0102-2009-560-002469691

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