디스플레이,광소자 (1) : RF Magnetron sputtering으로 증착한 ZnO:Ga의 특성에 관한 연구

A study on properties of ZnO:Ga thin films fabricated by RF magnetron sputtering

김호수 ( Kim Ho Su ) , 김광복 ( Kim Gwang Bog ) , 구본강 ( Gu Bon Gang ) , 박경욱 ( Park Gyeong Ug ) , 구경완 ( Gu Gyeong Wan ) , 한상옥 ( Han Sang Og )

한국전기전자재료학회 2003.07

한국전기전자재료학회 하계학술대회 논문집 vol. 2003 iss. 1 953-956(4pages)

UCI I410-ECN-0102-2009-560-002470121

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