센서,박막재료 (2) : 고온용 마이크로 세라믹 박막형 압력센서의 제작과 그 특성

Fabrication of Micro Ceramic Thin-Film Type Pressure Sensors for High-Temperature Applications and Its Characteristics

김재민 ( Kim Jae Min ) , 이종춘 ( Lee Jong Chun ) , 정귀상 ( Jeong Gwi Sang )

한국전기전자재료학회 2003.07

한국전기전자재료학회 하계학술대회 논문집 vol. 2003 iss. 1 888-891(4pages)

UCI I410-ECN-0102-2009-560-002470287

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