센서,박막재료 (1) : 초고온 MEMS용 TiN/3C-SiC의 Ohmic 특성

Ohmic Characteristics of TiN/3C-SiC for High-temperature MEMS Applications

정수용 ( Jeong Su Yong ) , 우형순 ( U Hyeong Sun ) , 김규현 ( Kim Gyu Hyeon ) , 정귀상 ( Jeong Gwi Sang )

한국전기전자재료학회 2003.07

한국전기전자재료학회 하계학술대회 논문집 vol. 2003 iss. 1 834-837(4pages)

UCI I410-ECN-0102-2009-560-002470414

More

Cite Copy URL Bookshelf

This article is 4 pages or less.

Abstract

Keywords

Table of Contents

References (0)

[자료제공 : 네이버학술정보]