센서,박막재료 (1) : 전기용량 측정에 의한 기울기 센서연구

Study on Inclination Sensor by Capacitance Measurements

김한준 ( Kim Han Jun ) , 이래덕 ( Lee Lae Deog ) , 강전홍 ( Kang Jeon Hong ) , 한상옥 ( Han Sang Og ) , ( Yu. P. Semenov )

한국전기전자재료학회 2003.07

한국전기전자재료학회 하계학술대회 논문집 vol. 2003 iss. 1 807-810(4pages)

UCI I410-ECN-0102-2009-560-002470489

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