센서,박막재료 (1) : Triode magnetron sputtering system의 제작 및 특성평가

김현후; 이무영; 김광태; 윤상현; 유환구; 김종민; 박철현; 임기조

한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 하계학술대회 논문집 센서,박막재료 (1) : Triode magnetron sputtering system의 제작 및 특성평가

Characteristic evaluations and production of triode magnetron sputtering system

김현후 ( Kim Hyeon Hu ) , 이무영 ( Lee Mu Yeong ) , 김광태 ( Kim Gwang Tae ) , 윤상현 ( Yun Sang Hyeon ) , 유환구 ( Yu Hwan Gu ) , 김종민 ( Kim Jong Min ) , 박철현 ( Park Cheol Hyeon ) , 임기조 ( Im Gi Jo )

한국전기전자재료학회 2003.07

한국전기전자재료학회 하계학술대회 논문집 vol. 2003 iss. 1 787-794(8pages)

UCI I410-ECN-0102-2009-560-002470525

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