학술대회 논문집 : 반도체재료 (3) ; MMIC Capacitor를 위한 PECVD Si3N4박막에 관한 연구

Poster Session : A Study on the Si3N4 Thin Films Deposited by PECVD for MMIC Capacitor

성호근 ( Seong Ho Geun ) , 송민종 ( Song Min Jong ) , 김용갑 ( Kim Yong Gab ) , 박춘배 ( Park Chun Bae )

한국전기전자재료학회 2003.07

한국전기전자재료학회 하계학술대회 논문집 vol. 2003 412-415(4pages)

UCI I410-ECN-0102-2009-560-002471446

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