학술대회 논문집 : 반도체재료 (1) ; 단원자 증착법으로 증착한 AlOx/HfOy 박막에서의 AlOx 산하제에 따른 특성 변화

Poster Session : Comparison of AlOx barriers oxidized with H2O, O2 plasma or O3 in Atomic Layer Deposited AlOx/HfOy, stacks

조문주 ( Jo Mun Ju ) , 박홍배 ( Park Hong Bae ) , 박재후 ( Park Jae Hu ) , 이석우 ( Lee Seog U ) , 황철성 ( Hwang Cheol Seong ) , 정재학 ( Jeong Jae Hag )

한국전기전자재료학회 2003.07

한국전기전자재료학회 하계학술대회 논문집 vol. 2003 275-277(3pages)

UCI I410-ECN-0102-2009-560-002471779

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