학술대회 논문집 : 센서,박막재료 (1) ; DC 마그네트론 스퍼터법에 의한 ZnO:Al 투명전도막 특성

박강일; 김병섭; 김현수; 임동건; 박기엽; 이세종; 곽동주

한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 하계학술대회 논문집 학술대회 논문집 : 센서,박막재료 (1) ; DC 마그네트론 스퍼터법에 의한 ZnO:Al 투명전도막 특성

Oral Session : Some properties of ZnO:Al Transparent Conducting Films by DC Magnetron Sputtering Method

박강일 ( Park Gang Il ) , 김병섭 ( Kim Byeong Seob ) , 김현수 ( Kim Hyeon Su ) , 임동건 ( Im Dong Geon ) , 박기엽 ( Park Gi Yeob ) , 이세종 ( Lee Se Jong ) , 곽동주 ( Gwag Dong Ju )

한국전기전자재료학회 2003.07

한국전기전자재료학회 하계학술대회 논문집 vol. 2003 143-146(4pages)

UCI I410-ECN-0102-2009-560-002472089

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DC magnetron sputtering

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