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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 FBAR 응용을 위한 ZnO 압전 박막의 증착 특성에 관한 연구

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FBAR 응용을 위한 ZnO 압전 박막의 증착 특성에 관한 연구

A Study on the Deposition Characteristics of ZnO Piezoelectric Thin Film Bulk Acoustic Resonator

최승혁 ( Choe Seung Hyeog ) , 김종성 ( Kim Jong Seong )

한국전기전자재료학회 2003.08

전기전자재료학회논문지 vol. 16 iss. 8 716-722(7pages)

UCI I410-ECN-0102-2009-560-002472478

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