레이저 CVD 텅스텐막 증착을 통한 TFT LCD 불량배선 수리 - 전기전자재료학회논문지 - 한국전기전자재료학회 - KISS

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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 레이저 CVD 텅스텐막 증착을 통한 TFT LCD 불량배선 수리

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레이저 CVD 텅스텐막 증착을 통한 TFT LCD 불량배선 수리

Repairing of a Defective Metallic Line using Laser CVD Deposited Tungsten Film in TFT LCD

김석군 , 손정석 , 이기선

한국전기전자재료학회 2004.10

전기전자재료학회논문지 vol. 17 iss. 10 1114-1119(6pages)

UCI I410-ECN-0102-2009-560-002472736

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Laser induced CVD

Laser photodepostion

Photodissociation

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