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대한금속재료학회
대한금속학회회보
ECR - PECVD PZT 박막의 전기적 특성에 대한 전극의 영향
ECR - PECVD PZT 박막의 전기적 특성에 대한 전극의 영향
Effects of Electrode on the Electric Properties of PZT Films Deposited by Electron Cyclotron Resonance Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
이원종 ( Won Jong Lee )
대한금속재료학회
1998.01
대한금속학회회보
11권 5호
538-545(8pages)
UCI
I410-ECN-0102-2008-580-001199545
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