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대한금속재료학회 대한금속학회회보 ECR - PECVD PZT 박막의 전기적 특성에 대한 전극의 영향

ECR - PECVD PZT 박막의 전기적 특성에 대한 전극의 영향

Effects of Electrode on the Electric Properties of PZT Films Deposited by Electron Cyclotron Resonance Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition

이원종 ( Won Jong Lee )

대한금속재료학회 1998.01

대한금속학회회보 vol. 11 iss. 5 538-545(8pages)

UCI I410-ECN-0102-2008-580-001199545

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