Preamorphization 과 Ti 증착방법이 Ti Salicide 특성에 미치는 영향

Effects of Preamorphization and Ti Deposition Scheme on the Properties of Ti Salieide

박대규 , 서유석 , 김영중 , 채무성 , 이상협 , 김삼동 ( Dae Gyu Park , You Seok Suh , Young Jung Kim , Moo Sung Chae , Sang Hyeob Lee , Sam Dong Kim )

대한금속재료학회 1998.01

대한금속학회회보 vol. 11 iss. 5 505-509(5pages)

UCI I410-ECN-0102-2008-580-001199585

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