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대한금속재료학회
대한금속학회회보
화학증착법으로 제조한 다이아몬드 막내에서의 잔류응력으로 인한 실리콘 기지의 크리프변형 특성
화학증착법으로 제조한 다이아몬드 막내에서의 잔류응력으로 인한 실리콘 기지의 크리프변형 특성
Creep Deformation of Si Substrate by Residual Stress on Chemical Vapor Deposited Diamond Films
김정근 , 이웅선 , 조두현 , 유진 ( Jung Geun Kim , Woong Sun Lee , Du Hyun Cho , Jin Yu )
대한금속재료학회
1998.01
대한금속학회회보
vol. 11 iss. 5
492-498(7pages)
UCI
I410-ECN-0102-2008-580-001199601
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