RF sputtering 을 이용한 차세대 유전체 박막용 BaTiO3 세라믹스 박막의 제조 및 전기적 특성에 관한 연구

Candidate

A Study on the Electric Properties and Fabrication of BaTiO3 Ceramics Thin Film for the Next Generation Dielectric Thin Film by RF Sputtering

류기원(Ki Won Ryu), 이문기(Moon Kee Lee), 정장호(Jang Ho Chung), 이영희(Young Hie Lee)

한국전기전자재료학회 1999.03

전기전자재료학회논문지 vol. 12 iss. 3 254-262(9pages)

UCI I410-ECN-0102-2008-560-001246136

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