RF PACVD 에 의한 다이아몬드 박막의 합성 - 전기전자재료학회논문지 - 한국전기전자재료학회 - KISS

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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 RF PACVD 에 의한 다이아몬드 박막의 합성

Candidate

RF PACVD 에 의한 다이아몬드 박막의 합성

The synthesis of diamond thin film by RF PACVD

이상희(Sang Hee Lee), 이덕출(Duck Chool Lee)

한국전기전자재료학회 1999.03

전기전자재료학회논문지 vol. 12 iss. 3 200-206(7pages)

UCI I410-ECN-0102-2008-560-001246212

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