Deep 서브마이크론 LDD - nMOSFET 의 핫 - 캐리어 현상 억제를 위한 반경험적인 LDD 공정설계에 관한 연구

Candidate

A Study on Semi - Empirical LLD Process Design for Suppression of Hot - carrier Effects in Deep Submicron LDD - nMOSFETs

안태형(Tae Hyun An), 김남훈(Nam Hoon Kim), 김창일(Chang Il Kim), 서용진(Yong Jin Seo), 장의구(Eui Goo Chang)

한국전기전자재료학회 1999.03

전기전자재료학회논문지(J. Korean Inst. Electr. Electron. Mater. Eng.) vol. 12 iss. 3 193-199(7pages)

UCI I410-ECN-0102-2008-560-001246227

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