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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 CMP공정에 기인하는 소자특성의 열화를 방지하기 위한 PMD 구조에 대한 연구
KCI 후보
CMP공정에 기인하는 소자특성의 열화를 방지하기 위한 PMD 구조에 대한 연구
A Study on PMD ( Pre - Metal Dielectric ) Structure to Prevent Device Degradation Induced by CMP Process
서용진(Yong Jin Seo), 김상용(Sang Yong Kim), 김태형(Tae Hyung Kim), 김창일(Chang Il Kim), 이우선(Woo Sun Lee), 장의구(Eui Goo Chang)
한국전기전자재료학회 1999.02
전기전자재료학회논문지 12권 2호 111-117(7pages)
UCI I410-ECN-0102-2008-560-001246358
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