CMP공정에 기인하는 소자특성의 열화를 방지하기 위한 PMD 구조에 대한 연구

Candidate

A Study on PMD ( Pre - Metal Dielectric ) Structure to Prevent Device Degradation Induced by CMP Process

서용진(Yong Jin Seo), 김상용(Sang Yong Kim), 김태형(Tae Hyung Kim), 김창일(Chang Il Kim), 이우선(Woo Sun Lee), 장의구(Eui Goo Chang)

한국전기전자재료학회 1999.02

전기전자재료학회논문지 vol. 12 iss. 2 111-117(7pages)

UCI I410-ECN-0102-2008-560-001246358

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