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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 기계적 손상에 의한 실리콘 웨이퍼의 반송자 수명과 표면 거칠기와의 관계
KCI 후보
기계적 손상에 의한 실리콘 웨이퍼의 반송자 수명과 표면 거칠기와의 관계
Relationships between Carrier Lifetime and Surface Roughness on Silicon Wafer by Mechanical Damage
최치영(Chi Young Choi), 조상희(Sang Hee Cho)
한국전기전자재료학회 1999.01
전기전자재료학회논문지 12권 1호 27-34(8pages)
UCI I410-ECN-0102-2008-560-001246474
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