기계적 손상에 의한 실리콘 웨이퍼의 반송자 수명과 표면 거칠기와의 관계 - 전기전자재료학회논문지 - 한국전기전자재료학회 - KISS

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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 기계적 손상에 의한 실리콘 웨이퍼의 반송자 수명과 표면 거칠기와의 관계

Candidate

기계적 손상에 의한 실리콘 웨이퍼의 반송자 수명과 표면 거칠기와의 관계

Relationships between Carrier Lifetime and Surface Roughness on Silicon Wafer by Mechanical Damage

최치영(Chi Young Choi), 조상희(Sang Hee Cho)

한국전기전자재료학회 1999.01

전기전자재료학회논문지 vol. 12 iss. 1 27-34(8pages)

UCI I410-ECN-0102-2008-560-001246474

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