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한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 추계학술대회논문집 질소와 아르곤 가스를 이용한 플라즈마의 전기적특성 연구
질소와 아르곤 가스를 이용한 플라즈마의 전기적특성 연구
The study of Electrical Characteristic of Plasma by Nitrogen and Argon
김동구(D . G . Kim), 박기배(K . B . Park), 한상도(S . D . Han), 한상욱(S . O . Han)
한국전기전자재료학회 1998.01
한국전기전자재료학회 추계학술대회논문집 vol. 1998 323-325(3pages)
UCI I410-ECN-0102-2008-560-001246929
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