RF 스퍼터링법에 의한 ( Sr0.85Ca0.15 )TiO3 박막의 전기적 특성

Electrical Characteristics of ( Sr0.85Ca0.15 )TiO3 Thin Film by RF Sputtering Method

장원석(Won Seok Jang), 김진사(Jin Sa Kim), 최운식(Woon Sik Choi), 김충혁(Chung Hyeok Kim), 이준웅(Joon Ung Lee)

한국전기전자재료학회 1998.01

한국전기전자재료학회 추계학술대회논문집 vol. 1998 239-242(4pages)

UCI I410-ECN-0102-2008-560-001249511

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