MCS-BE 에 의한 SF6+He 혼합기체의 전자수송특성 해석

Analysis of electron transport properties in SF6+He mixtures gas used by MCS-BE

서상현(Sang Hyeon Seo), 하성철(Sung Chul Ha), 유희영(Heoi Young Yu), 김상남(Sang Nam Kim), 송병두(Byung Doo Song)

한국전기전자재료학회 1998.01

한국전기전자재료학회 추계학술대회논문집 vol. 1998 159-162(4pages)

UCI I410-ECN-0102-2008-560-001247173

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