Pt-WO3-Si3N4-SiO2-Si-Al 캐패시터를 이용한 NO2 가스 센서

NO2 Gas Sensor Utilizing Pt-WO3-Si3N4-SiO2-Si-Al Capacitor

김창교(Chang Kyo Kim), 이주헌(Joo Hun Lee), 이영환(Youn Hwan Lee), 유광수(Kwang Soo Yoo), 김영호(Young Ho Kim)

한국전기전자재료학회 1998.01

한국전기전자재료학회 추계학술대회논문집 vol. 1998 105-108(4pages)

UCI I410-ECN-0102-2008-560-001248827

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